產(chǎn)業(yè)集群效應下,上海誕生多個集成電路科技標桿企業(yè)
近日,上海發(fā)布《關(guān)于新時期強化投資促進加快建設現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的政策措施》(下稱《政策措施》)。《政策措施》明確指出,聚力招引集成電路、生物醫(yī)藥、人工智能三大先導產(chǎn)業(yè),通過資金、政策等支持舉措,強化重點產(chǎn)業(yè)招商新優(yōu)勢。
經(jīng)過多年的發(fā)展,上海在上述三大先導產(chǎn)業(yè)已形成明顯的產(chǎn)業(yè)集群效應。以集成電路為例,根據(jù)去年年中發(fā)布的數(shù)據(jù),上海集聚了超過1200家行業(yè)重點企業(yè),匯聚了全國約40%的產(chǎn)業(yè)人才,集聚了國內(nèi)超過50%的行業(yè)創(chuàng)新資源。2021年,上海集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破2500億元,約占全國25%。2022年上半年,上海集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模繼續(xù)保持超過17%的增速增長,全年有望突破3000億元。
從產(chǎn)業(yè)鏈路方面來看,上海不僅已在晶圓制造、集成電路設計、汽車芯片等領(lǐng)域建立起優(yōu)勢,在半導體材料、EDA、半導體設備制造等需要“補短板”的領(lǐng)域也誕生了標桿企業(yè)。
補短板,誕生多個集成電路標桿企業(yè)
在芯片設計的底座EDA領(lǐng)域,上海的概倫電子(688206.SH)、思爾芯快速成長,助推國產(chǎn)EDA發(fā)展。公開數(shù)據(jù)顯示,兩家企業(yè)2020年營業(yè)額均超過1億元,而2021年實現(xiàn)營業(yè)額分別同比增長41%和59%的成績。EDA是面向電子設計領(lǐng)域的基礎(chǔ)工具,被稱作“芯片之母”,貫穿于芯片設計、晶圓制造及封測各環(huán)節(jié)。但長期以來,全球EDA軟件市場由新思科技、楷登電子和西門子等國際巨頭主導,三家廠商共占據(jù)全球EDA市場約70%的份額。
同樣存在短板的,還有半導體硅片領(lǐng)域。目前,全球半導體硅片市場主要為日本的信越化學和SUMCO、德國的Siltronic、中國臺灣的環(huán)球晶圓以及韓國的SK Siltron所壟斷。據(jù)SEMI統(tǒng)計,2020年上述全球前五大硅片制造商共同占據(jù)著半導體硅片市場約87%的份額。
而中國大陸的半導體硅片企業(yè)主要生產(chǎn)150mm(6英寸)及以下的半導體硅片,僅有滬硅產(chǎn)業(yè)、上海超硅等少數(shù)幾家企業(yè)同時具有200mm(8英寸)及300mm(12英寸)大尺寸硅片的生產(chǎn)能力。
也因此,國產(chǎn)半導體大硅片企業(yè)正加速追趕。今年1月,上海市發(fā)展改革委公布《上海市2023年重大工程項目清單》,“超硅半導體300mm集成電路硅片全自動智能化生產(chǎn)線”、“上海超硅生產(chǎn)研發(fā)及配套設施建設項目”兩個項目入選。一家公司同時兩個項目入選省級重大工程,凸顯了上海市對集成電路產(chǎn)業(yè)的重視程度與支持力度。
資料顯示,上海超硅成立于2008年,是一家主要從事半導體硅片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技企業(yè),目前主要產(chǎn)品包括200mm的拋光片、氬氣退火片和外延片,300mm的拋光片、外延片,是中國大陸輕摻雜、零缺陷大尺寸硅片的技術(shù)拓荒者之一,更是最早進行產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)的輕摻雜大尺寸硅片企業(yè)。
在技術(shù)上,上海超硅已形成了完備的技術(shù)鏈條,掌握了包括高純半導體單晶生長爐自主設計與集成技術(shù)、高成晶率單晶直拉生長自動控制技術(shù)、高精度低損耗半導體硅片加工技術(shù),以及基于拋光硅片的特殊用途硅片加工技術(shù)等核心技術(shù)。
其中,長晶爐是半導體硅片生產(chǎn)中的關(guān)鍵設備。據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹,在大尺寸半導體硅片生產(chǎn)中,拉晶環(huán)節(jié)所需的晶體生長設備直接影響半導體晶體的電阻率、含氧量等核心指標,從而決定了硅片的質(zhì)量。由于半導體硅片屬于定制化程度非常高的產(chǎn)品,其性能指標多達幾千項,其中絕大部分理化指標由長晶環(huán)節(jié)決定,也就是行業(yè)內(nèi)常說的“晶體長得好、硅片才可能好”。晶體是否能夠長得好,又取決于長晶設備與長晶工藝之間的動態(tài)調(diào)整與配合,這也是國際頂級半導體硅片生產(chǎn)企業(yè)都自主設計和制造長晶爐的原因,且其為了技術(shù)封鎖,也不對外銷售長晶爐。
而上海超硅從藍寶石晶體生長起步,經(jīng)過多年的研發(fā)努力,終于攻克了半導體長晶爐的核心技術(shù),成為全球第三家自主設計與制造長晶爐的大尺寸半導體硅片生產(chǎn)企業(yè),極大地縮小了我國單晶硅生長工藝及設備技術(shù)水平與國際一流企業(yè)的差距。
據(jù)悉,得益于長晶爐技術(shù)的自主配套,上海超硅更加能夠快速響應下游客戶的定制化需求,同時基于自身嚴謹?shù)馁|(zhì)量管理體系,全球排名前20位的集成電路制造商中,已有18家成為上海超硅的正式客戶并實現(xiàn)了批量供貨,包括臺積電、聯(lián)電、格羅方德、中芯國際、華虹集團等國際知名晶圓代工企業(yè),韓國海力士、日本鎧俠、美國鎂光等國際存儲芯片龍頭企業(yè),以及荷蘭恩智浦、德國英飛凌、美國德州儀器、日本索尼等國際半導體IDM龍頭企業(yè)。
聚沙成塔,助力“中國芯”良性生態(tài)發(fā)展
技術(shù)上“補短板、追先進”的同時,上海集成電路產(chǎn)業(yè)的集群發(fā)展已經(jīng)進入了新階段,成為“中國芯”高速發(fā)展的生態(tài)引擎。
作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)高地,上海集成電路產(chǎn)業(yè)正溢出“長三角”。譬如,今年1月,華虹半導體(01347.HK)發(fā)布公告稱,其有條件同意通過合營公司成立合營企業(yè)并以現(xiàn)金方式分別向合營公司投資合計40.2億美元,從事12英寸晶圓的制造及銷售。
以江蘇啟東為例,為承接上海產(chǎn)業(yè)溢出,則成立了上海交大電子信息與電氣工程啟東產(chǎn)研院,全力打造高端電子信息和電氣工程基地。啟東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)規(guī)劃建設半導體裝備及材料產(chǎn)業(yè)園,并設立10億元基金,以對接上海集成電路產(chǎn)業(yè),并全力打造半導體裝備及材料研發(fā)和國產(chǎn)化基地。現(xiàn)在,啟東已集聚捷捷微電、啟微半導體、乾朔電子、托倫斯半導體設備等一批業(yè)內(nèi)“尖子生”。
不僅是長三角,上海集成電路還實現(xiàn)對成渝地區(qū)的賦能。上海超硅子公司重慶超硅即是一典型案例。資料顯示,重慶超硅投資建設的“極大規(guī)模集成電路用200mm單晶硅晶體生長與拋光硅片及延伸產(chǎn)品”項目是中國大陸最早的200mm輕摻雜覆蓋LOW COP、COP FREE、氬氣退火、外延等高端大尺寸硅片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線。
路雖遠,行則必至;事雖難,做則必成。在概倫電子、思爾芯、上海超硅等標桿企業(yè)的共同努力下,上海集成電路產(chǎn)業(yè)有望不斷補短板,推動“中國芯”良性的生態(tài)發(fā)展。
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