阿石創申報銀合金靶材專利 AMOLED產線關鍵材料有望實現國產替代

從國家知識產權局專利查詢系統獲悉，阿石創（300706）（300706）一種銀基合金極其制備方法、銀合金復合薄膜極其應用已申報專利。據了解，該技術在AMOLED（主動矩陣有機發光二極體）顯示產線中起關鍵作用。目前，國內使用的銀合金靶材全部依賴日本和韓國進口。阿石創針對銀及銀合金靶材的研發突破，有望實現國產替代。

資料顯示，AMOLED是新一代顯示技術，在智能手機、平板電視、柔性顯示、車載顯示、AI等各種智能終端應用越來越廣泛。作為AMOLED制程的關鍵環節，透明導電薄膜晶體管（TFT）是采用濺射鍍膜技術在基板上沉積“ITO/Ag合金/ITO”復合薄膜構建。磁控濺射鍍膜（簡稱“濺射鍍膜”）是在真空中，利用大量高能離子轟擊靶材表面，使靶材元素以原子或原子團形態被激發出來，并沉積在靶材對面的基板上，形成厚度均勻的連續薄膜的過程。靶材的純度、致密度、組織結構等性能顯著影響薄膜的性能，而薄膜性能直接決定著顯示面板的良率和使用壽命。由于銀合金特殊的成膜性能要求，對銀合金靶材提出極高的性能要求，是AMOLED顯示面板制備過程中的關鍵基礎材料。

日本在專利2004―084065介紹了一種銀合金濺射靶材及用該銀合金濺射靶材形成的銀合金膜,能夠穩定地在大面積的FPD底板上均勻地形成兼備電子器件所要求的低電阻和高反射率,耐熱性，耐蝕性以及與底板的緊密粘結性的銀合金膜。以日本為主的靶材供應商正是依靠其在靶材成分上的專利優勢，制造行業壁壘，形成產業壟斷。其中，日本三菱布局的銀-銦（Ag-In）合金系，長期占領全球銀合金靶材市場。韓國、臺灣部分企業也生產供應小量銀合金靶材，但也繞不開日本企業的專利布局。銀-銦（Ag-In）、銀-鈀（Ag-Pd）系列合金目前仍處在專利保護期內，國內企業不得模仿生產。

當前，我國在顯示產業領域高端靶材尚未實現自主知識產權布局和自主研發生產。因此，銀合金靶材供應隨時面臨被“卡脖子”的風險。

據測算，未來三年中國大陸AMOLED顯示面板的產能將進入集中釋放期，預計2022年將占據全球產能的份額達47%。僅目前投產和在建的AMOLED產線對銀合金靶材的年市場需求就超過15億元。阿石創在銀合金靶材方面的技術突破，具備巨大的國產化替代空間。（中三文）

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